高能等离子体检测

检测项目

1.电子温度测量：范围1-1000eV，精度0.5eV

2.离子密度分析：10⁹-10⁸m⁻量程，分辨率0.1%

3.能量分布函数：能量分辨率≤0.05eV@100eV

4.等离子体电位：测量范围500V，误差＜0.1%

5.电磁辐射谱线：波长覆盖200-1100nm，分辨率0.02nm

检测范围

1.半导体晶圆刻蚀工艺中的Ar/CF₄混合等离子体

2.核聚变装置第一壁材料的氢/氦等离子体辐照测试

3.航天器热防护涂层的氧等离子体烧蚀实验

4.医疗灭菌设备的低温大气压等离子体

5.纳米材料表面改性的微波激发等离子体

检测方法

1.ASTME3061-17等离子体发射光谱分析法

2.ISO13370:2017热流探针测量技术规范

3.GB/T20044-2005电推进系统等离子体诊断方法

4.IEC62805-2:2017光伏器件等离子体增强化学气相沉积测试

5.GB/T39261-2020纳米薄膜等离子体处理工艺评价规范

检测设备

1.Langmuir探针系统（ImpedansSENTOR）：实时测量电子温度/密度

2.高分辨率光谱仪（OceanOpticsHR4000）：波长精度0.05nm

3.四极质谱仪（HidenESPion）：质量数范围1-300amu

4.微波干涉仪（PlasmaMetricsMWI-2000）：相位分辨率0.1

5.快速成像CCD（PCO.dimaxHD）：帧率100000fps@12801024

6.静电能量分析器（KimballPhysicsEFA-300）：能量分辨率0.05eV

7.射频功率计（Bird4421）：频率范围0.8-1000MHz

8.真空紫外单色仪（McPhersonModel234/302）：115-320nm波段

9.脉冲激光诱导荧光系统（Nd:YAG激光器+ICCD相机）

10.三维磁场探头（LakeshoreMMZ-2502-ZF）：量程2T

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.