红外干涉法检测

检测项目

1.薄膜厚度测量：覆盖0.1nm至100μm范围，分辨率达0.5nm。

2.折射率测定：波长范围2.5-25μm，精度0.002。

3.表面粗糙度分析：横向分辨率1μm，垂直分辨率≤0.1nm。

4.多层结构界面缺陷检测：可识别≥50nm的层间分离或气泡。

5.光学均匀性测试：测量波前畸变≤λ/20（λ=632.8nm）。

检测范围

1.光学薄膜：包括增透膜、反射膜及滤光片等镀膜器件。

2.半导体晶圆：硅基/化合物半导体外延层厚度及应力分布。

3.聚合物涂层：UV固化树脂、聚酰亚胺等有机材料的固化均匀性。

4.金属镀层：金/银/铝等贵金属薄膜的厚度与附着力测试。

5.生物医学材料：人工晶体、药物缓释膜的表面特性分析。

检测方法

ASTME387-04(2020)：红外光谱法测定薄膜光学常数标准方法。

ISO13468-1:2019：塑料材料红外透射率测试规范。

GB/T26314-2010：微米级薄膜厚度测量干涉法通则。

ISO10110-8:2020：光学元件表面粗糙度干涉测量要求。

GB/T34879-2017：半导体外延层厚度的非接触式测量方法。

检测设备

1.BrukerVERTEX80v：傅里叶变换红外光谱仪，支持10cm⁻分辨率下的干涉成像。

2.ZygoNewView9000：白光干涉三维形貌仪，垂直分辨率0.1nm。

3.ThermoFisherNicoletiS50：配备ATR附件的红外干涉系统，适用高分子材料分析。

4.KLA-TencorMicroXAM-800：相移干涉显微镜，支持150mm150mm大视场扫描。

5.AgilentCary660FTIR：集成可变角入射模块的薄膜分析系统。

6.FilmetricsF40：宽光谱膜厚测量仪（350-1700nm），重复性0.2%。

7.SensofarSneox：三维光学轮廓仪，兼容PSI/VSI干涉模式。

8.ShimadzuAIM-9000：红外显微镜与干涉仪联用系统，最小测量区域10μm。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.