精度扫描仪检测

检测项目

1.分辨率验证：最小可识别特征尺寸≤0.5μm（白光干涉模式），重复测量误差≤0.1μm

2.几何精度校准：XYZ轴定位精度1.2μm/100mm，平面度误差≤2μm/m

3.动态范围测试：有效量程0.001-1000mm时线性误差≤0.05%FS

4.重复性精度测试：同点连续20次测量标准差≤0.3μm（置信度95%）

5.色彩还原精度：CIELAB色差ΔE≤1.5（ISO12646标准色卡）

检测范围

1.金属加工件：包含航空航天发动机叶片（表面粗糙度Ra0.4-3.2μm）、精密模具型腔（公差5μm）

2.电子元器件：PCB板线路宽度（10-500μm）、BGA焊球直径（200-760μm）

3.印刷品质量：网点扩大率（3-25%）、套印误差（≤0.02mm）

4.塑料制品：注塑件收缩变形量（0.05-2mm）、表面划痕深度（≥5μm）

5.光学元件：透镜曲率半径偏差（λ/10@632.8nm）、棱镜角度误差≤3"

检测方法

1.ASTME2919-14：非接触式三维测量系统性能验证方法

2.ISO10360-13:2021：坐标测量系统验收与复检规范

3.GB/T34884-2017：光学三维测量系统校准规范

4.ISO25178-602:2010：表面结构区域测量系统的特性标定

5.GB/T13962-2009：光学测量仪器术语及基本参数

检测设备

1.KeyenceLJ-V7000系列：白光共聚焦扫描仪，Z轴分辨率1nm，最大扫描速度24000点/秒

2.ZeissCOMETL3D2：结构光三维扫描系统，单幅测量点数400万，体积精度8μm+8μm/m

3.MitutoyoQuickVisionPro系列：光学影像测量仪，双远心镜头畸变＜0.01%

4.HexagonAbsoluteArm7Axis：激光跟踪臂复合测量系统，空间精度15μm

5.OlympusDSX1000：数字显微镜系统，20-7000倍连续变倍，景深合成功能

6.NikonXTH450：工业CT扫描仪，最大功率450kV，体素分辨率＜3μm

7.GOMATOSQ：蓝光三维扫描仪，双摄像头分辨率1200万像素/帧

8.TaylorHobsonTalysurfCCILite：非接触式表面轮廓仪，垂直分辨率0.01nm

9.RenishawREVO五轴测量系统：多传感器协同工作，动态测头响应频率500Hz

10.CyberGage360旋转式CT系统：360全周扫描时间＜3分钟，缺陷识别灵敏度10μm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.