表面声波式压力传感器检测

检测项目

1. 灵敏度校准：测量单位压力变化对应的频率偏移量（±0.05%FS）

2. 线性度验证：全量程范围内非线性误差≤0.3%FS

3. 温度稳定性测试：-40℃~150℃温域内频率漂移量≤±0.02%/℃

4. 迟滞特性分析：加载/卸载循环测试回差≤0.15%FS

5. 长期漂移测试：1000小时持续工作后基线偏移≤±0.1%FS

6. 谐振频率稳定性：24小时连续监测频率波动≤±5ppm

7. 抗过载能力测试：150%额定压力下结构完整性验证

检测范围

1. 石英基表面声波压力传感器（工作频率100-500MHz）

2. 锂铌酸盐压电薄膜传感器（医疗植入式监测器件）

3. MEMS集成式SAW压力传感模块（汽车胎压监测系统）

4. 高温环境用氧化锌基传感器（航空发动机压力监测）

5. 柔性聚合物基底可穿戴传感器（生物医学压力监测）

6. 耐腐蚀型氮化铝基海洋监测传感器

检测方法

ASTM E988-2016《表面声波器件温度特性标准试验方法》

ISO 5725-2020《测量方法与结果的准确度验证规范》

GB/T 15478-2015《压力传感器性能试验方法》

IEC 60747-14-6:2021《半导体器件-压力传感器专项测试》

JJG 860-2015《压力传感器（静态）检定规程》

MIL-STD-883K METHOD 2032：军用级器件机械冲击试验

检测设备

1. Keysight 34972A数据采集系统：支持0.004%基本精度测量

2. Mensor CPC8000全自动压力控制器：覆盖0-70MPa量程范围

3. Thermotron SM-32-20温控箱：温度控制精度±0.1℃

4. Polytec MSA-600微系统分析仪：激光振动测量分辨率0.1pm

5. Agilent N5227A网络分析仪：10MHz至67GHz频率特性分析

6. ESI 5800系列环境应力筛选系统：复合环境模拟测试平台

7. Kistler 5073A型动态压力校准装置：阶跃响应时间≤1ms

8. Bruker DektakXT轮廓仪：表面粗糙度测量精度0.1nm

9. Fluke 725多功能过程校准仪：电流/电压信号闭环验证

10. LabVIEW PXIe-4309高速采集模块：同步采样率1MS/s/ch

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.