磁透镜成像检测

检测项目

1. 磁场强度分布测量：轴向磁场强度范围0.1-2.0 T（特斯拉），径向偏差≤±0.5%

2. 像差系数测定：球差系数Cs≤0.05 mm，色差系数Cc≤0.02 mm

3. 焦斑直径测试：电子束聚焦直径≤1 nm（@200 kV加速电压）

4. 磁场稳定性监测：24小时漂移量＜0.001 T/h

5. 温度敏感性验证：工作温度20±0.1℃时磁场波动＜0.005%

6. 边缘场衰减率分析：距极靴10 mm处场强衰减至中心值的5%以下

检测范围

1. 透射电子显微镜（TEM）用超导磁透镜系统

2. 扫描电子显微镜（SEM）电磁物镜组件

3. 离子束刻蚀设备的聚焦磁透镜组

4. 同步辐射光源用多极校正磁铁

5. 半导体缺陷分析仪中的复合型磁透镜

6. 纳米探针制备系统的微型磁聚焦单元

检测方法

1. ASTM E3061-17《电磁透镜轴向场强分布的霍尔探头测量法》

2. ISO 16700:2019《微束分析-电子探针显微分析-磁透镜性能验证》

3. GB/T 23414-2021《微束分析技术参数测试方法》第5章磁透镜专项

4. IEC 61336:2022《核仪器用磁透镜系统的试验程序》

5. JIS H 7805:2020《透射电子显微镜用磁透镜检验方法》

6. GB/T 35033-2018《扫描电子显微镜性能测试方法》第4.3节物镜系统

检测设备

1. Lake Shore 475型数字高斯计：分辨率0.01 mT，量程0-3 T

2. FEI MagProbe XT磁透镜分析系统：支持动态场强映射与3D场分布重构

3. Zeiss Sigma 500场发射电镜配套LensCheck模块：可在线测量球差系数

4. Agilent 34420A纳伏表：用于微安级励磁电流的精密监测

5. GMW 5200系列三维亥姆霍兹线圈：产生标准补偿磁场（精度±0.05%）

6. Oxford Instruments MicrostatHe低温恒温器：提供77K-400K温控环境

7. Hitachi HF-3300C专用励磁电源：电流稳定性达±1 ppm/8h

8. Bruker EM-CAT全自动像散校正仪：最小校正步长0.01 μm

9. Keithley 6221程控电流源：输出分辨率10 nA（DC模式）

10. JEOL JEM-ARM300F配套Lens Analyzer Pro软件：支持实时波前分析

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.