浸没物镜检测

检测项目

1.数值孔径（NA）校准：测量范围0.9-1.4NA，精度0.002NA

2.透射率测试：波长覆盖365-980nm波段，分辨率0.3%

3.波前畸变分析：PV值≤λ/10@632.8nm

4.表面粗糙度检测：Ra≤0.5nm（2020μm扫描区域）

5.抗反射膜性能：反射率≤0.2%@设计波长

检测范围

1.高折射率光学玻璃（n≥1.8）

2.半导体光刻用氟化钙晶体

3.生物显微用甘油/水基浸没液

4.纳米压印紫外固化胶

5.超薄聚合物保护膜（厚度≤50μm）

检测方法

ASTME903-12透射率测试规范

ISO10110-5光学元件表面缺陷评定

GB/T26332-2010显微镜物镜成像质量检验方法

ISO14999-4干涉法波前测量技术

GB/T13823-2012激光平面干涉仪检定规程

检测设备

1.ZygoVerifireMST干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nmRMS

2.OlympusMX63金相显微镜：1500放大倍率，带微分干涉模块

3.ShimadzuUV-3600iPlus分光光度计：190-2500nm宽谱分析

4.BrukerContourGT-K光学轮廓仪：0.01nm垂直分辨率

5.NikonNIS-Elements成像分析系统：支持Zernike多项式拟合

6.Keysight5500原子力显微镜：非接触模式表面形貌测量

7.ThorlabsPAX1000偏振分析仪：消光比测量精度0.05

8.MitutoyoMF-U1000超精密测长机：0.1μm/m定位精度

9.LeicaDCM8共聚焦显微镜：405-780nm多波长测量

10.HoribaLabRAMHREvolution拉曼光谱仪：空间分辨率200nm

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.