高精度气体分配装置检测

检测项目

1.流量精度测试：测量装置在0.1-100SLM范围内的流量偏差率（0.5%FS）

2.密封性验证：氦质谱检漏法测定泄漏率（≤110⁻⁸Pam/s）

3.耐压强度试验：施加1.5倍额定压力（0-40MPa）持续30分钟

4.响应时间测定：记录阀门从关闭到90%开度的时间（≤50ms）

5.材料兼容性分析：测试316L不锈钢/EPDM密封件在腐蚀性气体（Cl₂/H₂S）中的质量损失率（≤0.1mg/cmh）

检测范围

1.不锈钢材质气体质量流量控制器（MFC）

2.铝合金电磁比例阀组

3.PEEK材质微流量调节阀

4.石英玻璃气体混合分配器

5.镍基合金高温气体分流装置

检测方法

1.ASTMD3826-18标准进行动态密封性能测试

2.ISO10770-1:2020液压传动阀压降特性试验

3.GB/T34523-2017气体减压器流量特性测试规程

4.ISO15848-1:2015工业阀门微泄漏评定方法

5.GB/T12242-2021压力释放装置性能试验规范

检测设备

1.AlicatM系列质量流量控制器（精度0.4%RD+0.2%FS）

2.InficonELT3000氦质谱检漏仪（灵敏度110⁻Pam/s）

3.MensorCPC8000数字压力校准器（量程0-70MPa）

4.NIPXIe-4139高密度源测量单元（采样率1MS/s）

5.BronkhorstHigh-TechCORI-FLOW™系列热式流量计

6.AMETEKJOFRARTC-700B干式温度校准炉（-45~700℃）

7.Agilent490MicroGC气相色谱仪（分析精度0.01%）

8.KANOMAX6113三维风速计（量程0.01-30m/s）

9.Fluke754多功能过程校准仪（24位ADC分辨率）

10.SwagelokGSD系列气体混合配比测试平台

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.