干涉带检测

检测项目

1.干涉带波长范围：400-700nm可见光波段内可调谐光源精度2nm

2.条纹间距测量精度：0.1μm（基于100mm基准长度）

3.表面平整度偏差：≤λ/20（λ=632.8nm）

4.膜层厚度均匀性：相对误差≤0.5%（厚度范围50nm-10μm）

5.相位差分辨率：0.01π（对应光程差1nm）

检测范围

1.光学薄膜：增透膜/反射膜/滤光片（厚度50nm-5μm）

2.精密光学元件：棱镜/透镜/平面镜（直径≤300mm）

3.半导体晶圆：硅片/砷化镓基板（表面粗糙度Ra≤1nm）

4.显示面板：LCD/OLED玻璃基板（厚度0.3-1.1mm）

5.汽车玻璃：镀膜风挡/天窗（曲率半径≥500mm）

检测方法

1.ASTME903-20：基于分光光度法的透射率测试规程

2.ISO13696:2002：光学元件散射特性测量方法

3.GB/T26331-2010：光学薄膜激光损伤阈值测试标准

4.ISO10110-5:2015：表面缺陷公差表示规范

5.GB/T13384-2008：光学零件表面疵病分级方法

检测设备

1.ZygoVerifireMST激光干涉仪：波长632.8nm，分辨率0.1nm

2.VeecoNT9100白光干涉轮廓仪：垂直分辨率0.01nm

3.BrukerContourGT-K三维光学轮廓仪：扫描速度50μm/s

4.OlympusLEXTOLS5000激光共聚焦显微镜：横向分辨率120nm

5.ShimadzuAIM-9000红外干涉仪：波长范围2-25μm

6.Keysight5500A原子力显微镜：Z轴噪声水平0.02nm

7.MitutoyoMF-U1000高精度平面度测量仪：测量范围Φ300mm

8.ThorlabsSA200-5BFizeau干涉仪：腔长稳定性0.05℃

9.NikonMM-400测量显微镜：物镜放大倍率50X-2000X

10.HoribaLabRAMHREvolution光谱分析系统：光谱分辨率0.35cm⁻

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.