光学镜面涂膜检测

检测项目

1.反射率：测量波长范围400-700nm内镜面反射率（≥98%），角度偏差≤0.1；

2.膜层厚度：采用非接触式干涉法检测单层/多层膜厚（50-200nm），精度1nm；

3.耐磨性：依据Taber磨损测试标准（CS-10磨轮/500g载荷/1000次循环），表面划痕等级≤Class2；

4.表面粗糙度：原子力显微镜（AFM）测量Ra值≤0.5nm；

5.附着力：划格法测试（1mm1mm网格）后胶带剥离无脱落。

检测范围

1.光学玻璃镜片：相机镜头、望远镜棱镜等镀增透膜/反射膜产品；

2.金属镀膜反射镜：激光切割设备用铜/铝基高反镜；

3.塑料光学元件：聚碳酸酯（PC）、PMMA材质AR涂层元件；

4.半导体晶圆涂层：光刻机用硅基抗反射涂层；

5.激光镜片组件：YAG激光器用介质膜偏振片。

检测方法

1.反射率检测：ASTME429-07（积分球法）、GB/T26331-2010（分光光度法）；

2.膜厚分析：ISO9220-2018（X射线荧光法）、GB/T6462-2005（椭偏仪法）；

3.耐磨测试：ISO7784-2-2016（旋转摩擦法）、ASTMD4060-2019；

4.粗糙度测量：ISO25178-2012（非接触式3D轮廓仪）、GB/T29505-2013；

5.附着力测试：ASTMD3359-17（划格法）、GB/T9286-2021。

检测设备

1.PerkinElmerLambda1050分光光度计：波长范围190-3300nm，分辨率0.05nm；

2.FilmetricsF20薄膜分析仪：支持0.1nm-500μm厚度测量；

3.BrukerContourGT-X3光学轮廓仪：垂直分辨率0.1nm；

4.Taber5135耐磨试验机：最大载荷1000g，转速60rpm；

5.ZEISSAxioImagerA2m金相显微镜：500倍表面缺陷观测；

6.ShimadzuEPMA-8050G电子探针：元素分布分析精度0.01%；

7.Agilent5500原子力显微镜：扫描范围90μm90μm；

8.ThermoScientificK-AlphaXPS谱仪：表面化学态分析深度≤10nm；

9.BYKGardnerhaze-gloss光泽度计：60角测量范围0-2000GU；

10.Elcometer508十字划格器：刀片间距1mm/2mm可选。

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.