副基准器检测

检测项目

1.平面度误差：采用激光干涉法测量表面平整度偏差值≤0.5μm/m

2.表面粗糙度：轮廓算术平均偏差Ra≤0.025μm（测量长度4mm）

3.硬度指标：维氏硬度HV≥800（载荷500gf）

4.热膨胀系数：温度20-25℃范围内变化量≤0.1μm/℃

5.磁化率：相对磁导率μr≤1.0001（磁场强度10A/m）

检测范围

1.金属合金基准器：包括殷钢、碳化钨等低膨胀合金制造的基准平台

2.陶瓷材料基准器：氧化锆、氮化硅材质的精密测量基座

3.光学玻璃基准器：用于干涉仪校准的平面平晶及棱镜组件

4.复合材料基准器：碳纤维增强型多维度校准装置

5.超精密加工件：半导体行业用硅晶圆定位基准模块

检测方法

1.ASTME177-20《精密长度测量温度控制规范》

2.ISO8512-2:2018《平面度测量-激光干涉法实施规程》

3.GB/T11337-2004《平面度误差测量三截面法》

4.JJG117-2013《平板检定规程》等级00级要求

5.DIN876-1:2019《铸铁和花岗岩检验平板技术规范》

检测设备

1.三坐标测量机：MitutoyoCRYSTA-ApexS系列（测量精度0.3+L/600μm）

2.激光干涉仪：RenishawXL-80（分辨率0.001μm）

3.表面轮廓仪：TaylorHobsonFormTalysurfi1200（Ra测量范围0.01-50μm）

4.热膨胀测试系统：NetzschDIL402ExpedisClassic（控温精度0.1℃）

5.磁化率测试仪：LakeShore480Fluxmeter（灵敏度0.1μWb）

6.纳米压痕仪：AgilentG200（载荷分辨率50nN）

7.恒温实验室：200.1℃温度控制（符合ISO/IEC17025标准）

8.激光跟踪仪：LeicaAT960-MR（空间精度15μm+6μm/m）

9.白光干涉显微镜：ZygoNewView9000（垂直分辨率0.1nm）

10.X射线衍射仪：BrukerD8ADVANCE（晶格常数测定精度0.0001nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.