纳米硅EDS能谱分析

检测项目

1.元素组成分析：检测Si纯度（99.9%-99.9999%）、O/C杂质含量（0.01-5wt%）

2.元素面分布/线扫描：空间分辨率≤3nm（STEM模式）

3.轻元素定量：C/O/N元素检测限≤0.3wt%（BSE探测器）

4.晶界偏析分析：加速电压5-30kV可调（束斑尺寸1-10nm）

5.镀层/包覆层厚度测量：层厚分辨率2nm（剖面EDS）

检测范围

1.锂离子电池负极材料：纳米硅碳复合材料（粒径50-200nm）

2.光伏薄膜材料：非晶硅/纳米晶硅叠层结构（厚度100-500nm）

3.MEMS器件：硅基纳米线阵列（直径20-100nm）

4.纳米复合材料：SiO₂@Si核壳结构（壳层厚度5-30nm）

5.催化剂载体：多孔硅载体负载金属颗粒（Pt/Pd粒径3-10nm）

检测方法

ASTME1508-12a《微束分析能谱仪定量分析标准规程》

ISO22309:2011《微束分析-能谱法定量分析》

GB/T17359-2012《微束分析能谱法定量分析通则》

GB/T19501-2013《微束分析电子探针显微分析通则》

IEC60749-20:2008《半导体器件表面元素污染测试方法》

检测设备

1.ThermoFisherNoranSystem7：配备Super-X四探头EDS，元素探测范围Be-Pu

2.OxfordInstrumentsX-MaxN80：大面积SDD探测器（80mm），计数率＞500kcps

3.JEOLJED-2300T：搭载透射模式EDS（TEM兼容），点分辨率0.36nm

4.BrukerQUANTAXFlatQUAD：四通道硅漂移探测器，轻元素探测效率提升40%

5.HitachiSU9000：冷场发射源配合低电压EDS（1kV），减少样品损伤

6.ZeissGeminiSEM500：集成BSE/EDS联用系统（8nm@15kV）

7.EDAXOctaneElite：APEX™智能相鉴定软件支持纳米相自动识别

8.ShimadzuEDS-7000：配备薄膜窗口探测器（Be窗厚度7.5μm）

9.TESCANMAIA3：超大视野EDS面扫系统（最大视野1mm1mm）

10.HORIBAEX-370：高灵敏度CL-EDS联用系统（波长分辨率0.1nm）

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外).

CMA/CNAS等证书详情，因时间等不可抗拒因素会发生变更，请咨询在线工程师.